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這種開關(guān)的測(cè)量通常是構(gòu)成電容器的一個(gè)極板，而另一個(gè)極板是開關(guān)的外殼。這個(gè)外殼在測(cè)量過程中通常是接地或與設(shè)備的機(jī)殼相連接。當(dāng)有物體移向接近開關(guān)時(shí)，不論它是否為導(dǎo)體，由于它的接近，總要使電容的介電常數(shù)發(fā)生變化，從而使電容量發(fā)生變化，使得和測(cè)量頭相連的電路狀態(tài)也隨之發(fā)生變化，由此便可控制開關(guān)的接通或斷開。這種接近開關(guān)檢測(cè)的對(duì)象，不限于導(dǎo)體，可以絕緣的液體或粉狀物等。
原理就是當(dāng)電源接通時(shí)，RC振蕩器不震蕩，當(dāng)一目標(biāo)朝著電容器的電極靠近時(shí)，電容器的容量增加，振蕩器開始震蕩，通過后極電路的處理，將振和震蕩兩種信號(hào)轉(zhuǎn)換成開關(guān)信號(hào)，電容式接近開關(guān)的感應(yīng)圈由同軸金屬電極構(gòu)成，很像“打開的"電容器電極，這兩個(gè)電極構(gòu)成一個(gè)電容，串接在RC振蕩回路中，從而起到檢測(cè)有無物體存在的目的。
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